MES系统作用：

实现自动化，从而减少人力的支出

自动化生产提高效率

自动计算设备运行耗材和维护

控制系统验证和控制设备生产，避免操作人员的失误

实时监控设备运行状态

管理设备，自动化调度设备作业，实现品质提高

SECS（SEMI设备通信标准）/GEM（通用设备模型）是用于半导体设备和晶圆厂主机之间通信的通信接口协议。Fabhost是一个软件应用程序，它使用SECS/GEM协议控制和监视设备处理。符合SECS/GEM标准的设备可以使用TCP/IP（使用SEMI标准E37和E37.1–HSMS）或RS-（使用SEMI标准E4–SECS-I）与晶圆厂主机进行通信。

SECS/GEM标准如何实现

1.通讯

通信定义了设备在与主机是否存在通信链路方面的行为。它还制定了在S1F13/S1F14被切断时如何建立或恢复与S1F13/S1F14的通信。使用我们的SECS/GEM软件，主机可以有一个简单的通信过程。

2.控制

SECS/GEM协议中的CONTROL状态模型指定了主机和设备之间的协作程度。控制范式为主机提供了三个基本的主机控制程度，这些控制建立了主机命令设备的能力：

脱机（最低级别）：在操作员控制台中工作的操作员手动操作整个设备。设备将使用SxF0回复来自主机的任何直接消息，而不是S1F13或S1F17;设备将使用SxF0进行回复。

本地/在线（中级）：主机只允许在此状态下执行“只读”操作，例如数据收集。主机无法更改影响进程的设备常量、导致运动的远程命令或启动处理的命令。

在线/远程：最高级别的操作是在线/远程，在这种情况下，主机可以使用通信接口尽可能自由地使用设备。

3.处理

设备方法，技术和设计都在处理状态模型中发挥重要作用。但是，预计这些模型将具有一些共同特征。

4.远程命令

设备可以从主机发出指令以执行自动任务。例如，启动、停止、暂停等。上述命令可与操作员在控制台上的手动操作相媲美。

5.不同的变量

有三种不同类型的变量：

状态变量：此设备定义的全局变量是“只读”的。该装置每次进行处理时都会更新相关状态变量，以反映最新信息。例如：增量计数器、现在或过去的状况等。

设备常数：这是一个可以读取和写入的全局变量。使用正确的技术和公式，主机可以修改恒定的设备变量，影响设置并最终改变设备的行为方式。

连续变量：此变量是“本地”，仅存在于集合事件中。

6.数据收集

用户可以使用S1F3命令请求状态变量值的集合。

S2F13命令有助于获取设备常量值的列表。

包含状态变量和数据变量的报告可以由主机定义并附加到集合事件。当设备引发事件时，包含这些变量值的报告将同时发送（使用S6F11指令）。

主机可以提供将定期对状态变量数据进行采样的跟踪。

利用警报通知通过收集事件增加数据收集是另一种选择。每当发生或清除警报时，根据标准，事件都需要传输到主机。

7.完整的文档

每个设备供应商都需要根据SECS/GEM标准提供GEM接口参考手册。需要设备定义或支持的状态变量、设备常量、警报、收集事件等的列表，以及GEM合规性声明和完整的SECS-II报文文档。SECS/GEM模拟器有助于刺激设备或工厂，具体取决于用例和通信。

8.报警通知

借助此功能，每当设备上发生警报或故障或得到解决时，设备都可以向主机发出警报。警报是将人员、财产或加工过的物理材料置于危险之中，这些不寻常的、不受欢迎的事件。

SECS(SEMIEquipmentCommunicationsStandard)/GEM(GenericEquipmentModel)is

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